介绍SECS/GEM
SEMI SECS/GEM标准概述
SECS/GEM是由国际半导体设备与材料协会（SEMI）制定的连接性标准。此连接性标准用于在设备和工厂的资讯和控制系统间建立通讯。
SECS是SEMI设备通讯标准的缩写。GEM指SEMI连接性标准E30，被定义为制造设备实现通讯和控制的一般模型。
一般来说，SECS/GEM标准定义了信息、状态机和情境，来让工厂软件能够控制并监视制造设备。正式名称是SEMI连接性标准E30。
在实现SECS/GEM标准的工厂内，存在主机和设备这两方。由设备在其中一台必须实施和遵守SEMI E30标准的计算机上运行软件。由制造商（工厂）运行与设备接口建立通讯的主机软件。
主机无需遵守完整的连接性标准，因为它只设定设备的预期行为。不过，若要使用接口，主机必须进行主机端通讯。SECS/GEM为每条可能的主机信息设定了清晰的设备预期行为。
通讯
SECS/GEM SEMI连接性标准定义了主机和设备开始建立通讯的方式，并且还定义了当通讯中断时重新建立通讯的方式。在线识别方法负责验证设备的硬件和软件标识。终端服务功能允许主机操作员和设备操作员在控制台上交换手动输入的文本。
控制
SECS/GEM SEMI连接性标准概括了主机与设备操作员之间的合作等级的控制状态模型。设备提供三种基本的主机控制等级：离线，在线/本地，以及在线/远程，确定了主机控制和监控设备的能力。设备操作员设定主机控制的等级。远程控制功能允许主机发送诸如“启动”、“停止”、“暂停”、“继续”和“中断”这样的指令，用以控制设备的工作过程。
运作通知
收集事件和警报功能使主机能监控设备的运作情况。设备收集事件功能会将重要的正常活动和异常活动通知主机。当潜在的危险活动出现并随后被清除时，设备警报功能会通知主机。主机设定哪些收集事件和警报需要通知。SECS/GEM连接性标准要求特定的事件必须有通知，但一般会给设备定义额外的事件，以便主机监控具体设备相关的活动。