一 加速度计原理

  1.1 加速度计由MEMS传感器与信号处理芯片组成。

  1.2 MEMS加速度计工作原理

    由上电容、中电容板(可移动)、下电容板等组成;当加速度达到一定值后,中电容板会移动,与上、下电容板的距离就会变化,

  上、下电容因此变化。电容变化跟加速度成比(如下面公式),通过对输出电压数字处理后,输出数字化信号。

  如图:

  惯性导航之MEMS加速度计原理-LMLPHP

    公式:(1) Vs = ( (Cs1-Cs2)/(Cs1+Cs2) ) * Vm   ;输出电压为电容电压变化部分;vm(输入电压)

         (2) 由容的定义可得出电容的大小与位移之间的关系:

        惯性导航之MEMS加速度计原理-LMLPHP

       (3) 由(1)、(2)得 :

        惯性导航之MEMS加速度计原理-LMLPHP

       (4) 根据力学原理:

        惯性导航之MEMS加速度计原理-LMLPHP

       (5) 加速度与输出电压的关系:

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