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前言
论文题目：Sparsity-Based Super Resolution for SEM Images —— 基于稀疏性的SEM图像超分辨率
论文地址：Sparsity-Based Super Resolution for SEM Images
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Abstract
扫描电子显微镜（SEM）是一种电子显微镜，通过用聚焦的电子束扫描样品来产生样品的图像。电子与样品中的原子相互作用，原子发射出包含表面形貌和成分信息的二次电子。电子束逐点扫描样品，直到形成表面图像。自1942年发明以来，SEM的能力在发现和理解纳米世界方面变得至关重要，如今它被广泛用于研究和工业。原则上，SEM可以实现比一纳米更好的分辨率。然而，对于许多应用程序来说，以亚纳米级分辨率工作意味着要有大量的扫描点。正是出于这个原因，微电子芯片的SEM诊断在小面积上以高分辨率（HR）或以低分辨率（LR）进行，