进展比较慢啊...

根据江南大学硕士论文IGZO/IZO双有源层薄膜晶体管特性的模拟研究:

基于SILVACO ATLAS的a-IGZO薄膜晶体管二维器件仿真(08)-LMLPHP

其中,

gCBa:类受主导带尾态

gVBd:类施主价带尾态

gGd:类施主氧空位态

NDeep:价带尾深施主态

gta:E=Ec时,类受主能态密度

gtd:E=Ev时,类施主能态密度

Ea:导带尾斜率

Ed:价带尾斜率

gd:氧空位能态密度峰值

lamda:氧空位能态标准偏差

tao:氧空位能态平均能量

Ngd:E=Egd时,价带尾深施主态密度峰值

Wgd:价带尾深施主态标准偏差

Egd:价带尾深施主态平均能量

基于SILVACO ATLAS的a-IGZO薄膜晶体管二维器件仿真(08)-LMLPHP

我又去找了下atlas用户手册的公式,如下:

基于SILVACO ATLAS的a-IGZO薄膜晶体管二维器件仿真(08)-LMLPHP

对比就可以得到:

这毕业论文,写,错,公,式,了。

其实重点是我们可以得到具体的defect参数的意义。

再写一遍,如下:

gTA:类受主导带尾态

gTD:类施主价带尾态

gGA:类施主氧空位态

gDD:价带尾深施主态

NTA:E=Ec时,类受主能态密度

NTD:E=Ev时,类施主能态密度

WTA:导带尾斜率

WTD:价带尾斜率

NGA:氧空位能态密度峰值

EGA:氧空位能态标准偏差

WGA:氧空位能态平均能量

NGD:E=Egd时,价带尾深施主态密度峰值

WGD:价带尾深施主态标准偏差

EGD:价带尾深施主态平均能量

基于SILVACO ATLAS的a-IGZO薄膜晶体管二维器件仿真(08)-LMLPHP

根据文献资料,提供的公式如下:

基于SILVACO ATLAS的a-IGZO薄膜晶体管二维器件仿真(08)-LMLPHP

可得到参数间对应关系:

基于SILVACO ATLAS的a-IGZO薄膜晶体管二维器件仿真(08)-LMLPHP

文章中提供的参数值如下:

基于SILVACO ATLAS的a-IGZO薄膜晶体管二维器件仿真(08)-LMLPHP

即:

defect region=1 nta=5e18 wta=28 ega=0.13 nga=70 wga=45 egd=0.2 ngd=2.9e17 wgd=100

AT,AGS以及AGD含义暂时未知。

对比原定义:

defect region=1 nta=1e17 wta=0.013 wtd=0.12 ngd=6.5e14 wga=2 ntd=4.5e21 ngd=0 wgd=0

结果:

基于SILVACO ATLAS的a-IGZO薄膜晶体管二维器件仿真(08)-LMLPHP

未完待续...

05-11 20:49