样品汽化产生自由原子，原子电子的激发诱导光辐射产生表征原子的分立光谱，采集和分析光辐射。
光源：1064nm Nd:YAG固态激光器，10ns脉冲，焦点光密度1 GW·cm
可见和紫外光源。
重要参数：脉冲能量、脉冲频率、光束模式质量、尺寸/重量、制冷和电源要求。而光波长并不重要。
固态脉冲调Q Nd:YAG激光器，脉冲宽度<15ns,紧凑合适的激光器来产生激光等离子体。1064nm利用被动谐波生成技术转为532、355、266nm。但1064最常用，因为能提供最强光密度。提供不通过尺寸的商用激光器。实验室激光器10-50Hz，220v，水冷。手持式激光器1Hz&17mJ of peak，空气制冷，低压直流电。
脉冲CO2激光器：10600nm，维护需求高（e.g.气体变化）且需要特殊光学材料。
核心器件：激光器，光谱分辨方法，探测选择的光谱。
光谱仪：170nm-1100nm
样品不均匀性：0.1-1mm，测量区域的不均匀性、表层的污染，
三大安全事项：眼睛伤害、激光器驱动高压、样品爆炸。